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半導体皮膜 除去装置開発 ミクロエース(宮崎市)

2022年10月26日 06:00更新

フォトレジストの除去工程を担う電解硫酸装置(ミクロエース提供)

 半導体や電子部品、航空機、自動車などの表面処理加工を手がけるミクロエース(宮崎市、柳義一社長)が、新規事業を拡大しようとしている。世界的な半導体大手から依頼を受け、半導体製造のプロセスで用いられる「フォトレジスト除去装置」の開発に着手。来...