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4階製造装置火元か 旭化成工場火災調査報告書

2021年09月15日 12:00更新

旭化成マイクロシステム延岡事業所の火災で枠組みを残してほぼ焼失した工場4階のチタン除去装置(旭化成提供)

 旭化成は14日、延岡市中川原町5丁目の半導体工場「旭化成マイクロシステム延岡事業所」で昨年10月に発生した火災について、4階クリーンルーム内の製造装置が火元と推定したと発表した。電気ケーブル端子の接触不良や断線で発火した可能性があるが、装...